EP2309559

Piezoelectric actuating structure comprising an integrated piezoresistive strain gauge and manufacturing method thereof

  • :
    EP einkaleyfi: Þýðing ekki lögð inn
  • :
    4.10.2010
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    29.5.2013
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    10186357.9
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    3.10.2030
  • :
    Piezoelectric actuating structure comprising an integrated piezoresistive strain gauge and manufacturing method thereof

4.10.2010
29.5.2013
  • :
    Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
  • :
    Bâtiment "Le Ponant D" 25, rue Leblanc, 75015, Paris, FR
  • :
    Cueff, Matthieu
  • :
    GRENOBLE, FR
  • :
    Defay, Emmanuel
  • :
    VOREPPE, FR
  • :
    Perruchot, François
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    GRENOBLE, FR
  • :
    Rey, Patrice
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    SAINT JEAN DE MOIRANS, FR
  • :
    0904774
  • :
    6.10.2009
  • :
    FR
  • :
    H01L 41/314, H01L 41/29, H01L 41/09, H01L 41/332, H01L 41/047